ADC制御(結晶自動育成システム)
当社の単結晶引上げ装置はシステムの制御をCPUを用い全てデジタルで処理されております。不可欠な加熱制御、駆動系制御、種結晶コントロールなどを、ADC操作架(完全画面タッチ操作方式)が高精度に行います。
単結晶育成は、原料をるつぼ内で加熱溶解した後、種結晶を融液に接触させ、回転しながら丸棒状結晶を育成する、繊細な作業です。
ADC(Auto Diameter Control)システムは、精密なロードセル(弊社製)によりターゲット結晶の重量データを読み込み、ターゲット結晶の重量・形状を自動操作しながら育成する、当社独自の技術です。
仕様
温度プログラム | 10ステップ |
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ADCステップ | 20ステップ |
ロードセル入力分解能 | 0.1μV |
適用分野
結晶育成の引上げ法(CZ法、LEC法、EFG法、TSSG法など)