高温急冷アニール装置（RTA炉）｜高周波誘導加熱・通電加熱・抵抗加熱・高周波電源・ホットプレスのことなら

急加熱急冷却を実現した
シャトル方式

６インチウエハーまで熱処理

RSA-04 / RSA-06

概要

RSA装置はイオン注入後の活性化を目的とした熱処理装置です。シャトル方式を採用し、高速昇温、高速急冷を可能にしました。
ウエハー台を多段に重ねることにより、多数枚同時処理が可能な量産装置も御座います。

株式会社イオンテクノセンター様では本製品を使用した、活性化アニール処理を受託で承っておられます。

※新技術の採用により多数枚同時処理が可能になりました（4インチウエハーの場合）。

特長

• 急加熱急冷却装置のため、枚葉対応でもスループットは速くなります
• 反応炉と冷却室が分かれている為、加熱部を常に高温かつ均一に保つことが可能
• 加熱部を常に高温に保っているため、ランニングコストが少なくなります
• 高真空対応になっております。（ドライポンプ＋ターボ分子ポンプ使用可能）
• 最高2,000℃まで使用
• 最大4インチで±10℃以下（1,500℃）の面内温度分布を実現

仕様