EFG単結晶育成装置｜高周波誘導加熱・通電加熱・抵抗加熱・高周波電源・ホットプレスのことなら

シード軸がXYΘに駆動

データロギングが可能

自社製結晶制御ソフト

EFG単結晶育成装置

概要

電力ロスが極めて少ない、未来の半導体素材となる単結晶を育成するEFG育成装置です。

板状、円筒状、角柱状など結晶形状を自在に制御できるEFG育成法を精密に実現しています。

自社製のロードセルを使用し、精密制御が可能な高周波電源と組み合わせることでADC制御が可能です。また、シード軸がXYΘ可動式であるため、細かい調整が可能です。

自社製ソフトウエアを使用しているため、お客様のニーズに合せてソフトの製作が可能で、あらゆるデータの出力が可能です。

特長

• 酸化ガリウム単結晶の育成に使用されています
• 多様な形状の結晶育成が可能 高速で効率よく結晶の育成が可能
• コンピュータ制御により制御が容易
• データロギングが可能
• 自社製ロードセルと自社製結晶制御ソフトウエアの組み合わせでADC制御が可能
• シード軸がXYΘで手動調整可能

仕様