扉型チャンバー引上げ装置(CZ法)
扉型チャンバー引上げ装置
CZ法育成炉のベストセラー
高周波加熱式結晶育成装置
概要
CZ(Czochralski、チョクラルスキー)法による単結晶育成装置で、工業的に採用されている一般的な育成方法です。
本装置は、当社の考案した育成プログラム(ADC制御)によりシードタッチ後の自動育成を可能にしました。また、パワー制御をすることにより、個体差のない単結晶育成を実現しました。
応用例
LT/LN、GGG、LGS、Sapphire、YAG、NdYAG、YAP、NdYAP、LuAG、YbLuAG、NdCrGSGG、BGO、PM、YVO、LBO、BSO、LSO、CaF、Si等