小型チャンバー引上げ装置(CZ法)
小型チャンバー引上げ装置
CZ法育成炉のベストセラー
高周波加熱式結晶育成装置
概要
CZ(Czochralski、チョクラルスキー)法による単結晶育成装置で、工業的に採用されている一般的な育成方法です。
本装置は、当社の考案した育成プログラム(ADC制御)によりシードタッチ後の自動育成を可能にしました。また、パワー制御をすることにより、個体差のない単結晶育成を実現しました。
特長
- PCによる集中制御、画面構成(全5画面)
- コンパクトな炉体(特許出願中)
- ランニングコストの低減
- 安全性に優れた設計
応用例
LT/LN、GGG、LGS、Sapphire、YAG、NdYAG、YAP、NdYAP、LuAG、YbLuAG、NdCrGSGG、BGO、PM、YVO、LBO、BSO、LSO、CaF、Si等
仕様
チャンバー |
円筒型水冷式二重構造、耐真空構造 φ600~1200mm xH1000mm |
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加熱方式 | 高周波誘導加熱方式 |
出力 | 10~200kW |
加熱温度 | 最高2200℃ |
ロードセル | 3~80kgf 最小分解能1/100000 |
制御装置 | ADC機能付き結晶育成装置 |