多結晶シリコン凝固育成装置
PCによる集中制御、画面構成
コンパクトな炉体(特許出願中)
ランニングコストの低減、
安全性に優れた設計
MSF-690C / MSF-840C
概要
エコロジー時代のニーズに応える当社の先進技術。太陽電池用結晶を生み出す多結晶シリコン凝固育成装置です。大型の育成装置（MSF-840S）もラインアップしております。
※小型多結晶シリコン凝固育成装置MSF-690C及びR&D用凝固育成装置MSF-180Cも用意しています。
特長
- PCによる集中制御、画面構成（全5画面）
- コンパクトな炉体（特許出願中）
- ランニングコストの低減
- 安全性に優れた設計
仕様
| シリコンの最大投入可能寸法 | 840x840×250（mm） |
|---|---|
| 育成時間 | 60～70時間 |
| 結晶重量 | 420kg |
| 加熱温度 | 最高1700℃、常用1600℃ (カーボンヒーター) |
| 炉内圧力 | 大気圧～減圧 |
| 雰囲気 |
アルゴンガス1～50L/min、圧力0.2Mpa 50L/min |
| 電源 | 3相交流 400/440V 50/60HZ共用 300KVA |
| 耐火材 | 成形断熱材（カーボン材質） |
|
冷却水 |
圧力0.3MPa 流量400L/min 温度35℃以下 |
| エアー | 0.5MPa以上 |
| チャンバー | 水冷２重構造 |
