ハイブリッド型焼結装置（連続式）
省エネ・高効率の次世代型
小型で連続焼結を実現！
SiC電源＋パルス電源＋サーボプレス
HMS-series
概要
高周波加熱とパルス通電加熱を併用して高温域まで数分で加熱させた後に、サーボプレス制御のパンチにより均一な焼結が可能です。ホットプレスに比べて焼結時間が短く、さらに弊社独自開発の連続焼結機能を搭載したことにより高効率化を実現し、大量生産に適した装置です。（特許番号：6678434）
特長
- パルス通電加熱と高周波誘導加熱を併用したハイブリッド加熱方式により焼結処理が早い
- 高周波誘導加熱を併用して低温・短時間・結合材なしでの焼結が可能
- 高性能サーボプレスを採用して精密な加圧及びプレス位置の制御が可能
- プレスのトルク管理やワーク抵抗値のモニタリングにより、焼結密度の繊細な調整が可能
- 加熱レシピ・雰囲気及びプレス制御がプログラム連動
- 弊社独自開発の連続焼結機能
技術説明
長年培ってきた高温加熱技術を生かして、高周波誘導加熱とパルス通電加熱の併用と、グループ会社である第一電通製サーボプレスを採用し、従来のSPS（Spark Plasma Sintering）装置やホットプレスに比べ、処理時間が短く連続焼結が可能な省エネ型SPS装置を開発いたしました。
省エネ型SPS装置は高周波誘導加熱とパルス通電加熱を併用することにより、瞬間的に高温度を粒子間に発生させて結合します。従来法に比べ200～500℃程低い温度でも焼結可能で、昇温・保持を含めて約5～20分程度の更に短時間で焼結することができます。それに結合材が不要になります。均一な焼結や再現性が向上する為、最終製品の品質向上および製造コストの低減に貢献いたします。
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ハイブリッド焼結の原理
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タッチパネルで簡単に操作ができる
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精密制御のためのサーボプレス
仕様
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加熱方式 |
高周波誘導加熱 ＋ パルス通電加熱 |
|---|---|
| 加熱温度 | 最高2500℃ |
| 昇温レート | 400℃/min |
| チャンバー | 加熱チャンバー ＋ 連続チャンバー |
| 雰囲気 | 真空置換後不活性ガス雰囲気 |
| 加圧方式 | 電動サーボプレス（50KN） |
| 温度測定 | 熱電対 or 2色放射温度計 |
| オプション仕様 |
最高1×10-4Pa台の高真空 油圧プレス（圧力制御） |
従来機との比較
| 従来のSPS装置 | 省エネ型SPS装置 | |
|---|---|---|
| 加熱 | パルス通電加熱のみ | 高周波+パルス通電加熱 ⇒短時間での昇温、均一な焼結が可能 |
| プレス | 油圧プレスやエアープレス | サーボプレス制御 ⇒プレス位置が正確、密度の制御が容易 |
| コスト | 大電流 | 低廉な消耗品（カーボン製ホットゾーン） 省電力⇒高周波加熱で温度の安定が早い |
| 操作 | 手動 | 焼結中に抵抗値のモニタリングが可能 タッチパネルによりレシピ入力が容易 |
| 応用 | 1バッチ1個の焼結 焼結専用 |
連続焼結・自動化可能 適用分野が多い |
